세계 반도체 장비 기업들이 메모리 반도체 강국인 한국으로 몰려들고 있다. 미국의 대(對)중국 반도체 규제로 포기하게 된 중국 시장 대신 삼성전자와 SK하이닉스 등 '빅2'가 있는 한국 시장을 키우기 위해서다.

12일 업계에 따르면 최근 어플라이드머티어리얼즈(AMAT), ASML, 도쿄일렉트론(TEL), 램리서치, KLA 등 전 세계 장비 업계 상위 5위권 업체들이 모두 잇달아 한국 투자를 늘리고 있다.

한국무역협회에 따르면 5대 반도체 장비 업체가 세계 반도체 장비 시장의 79.5%를 차지하고 있다.

미국 AMAT는 최근 경기도에 메모리 장비 연구개발(R&D)센터를 짓기 위한 작업에 착수했다. 삼성전자·SK하이닉스 등 주요 고객사와 D램과 낸드플래시 등 메모리 반도체 협력을 강화하기 위해서다. AMAT 관계자는 "현재 경기도와 R&D센터 건설 관련 논의를 진행하고 있다"며 "투자 액수와 장소는 미정"이라고 했다. AMAT는 이달 중 반도체 칩의 미세한 결함을 찾아내는 고도화된 전자빔 이미징 기술 솔루션도 한국에 선보인다.

미세공정에 필수인 극자외선(EUV) 노광장비를 만드는 네덜란드 ASML도 한국 시장 확대에 적극적이다. ASML은 2400억원을 투자해 경기도 화성에 신사옥과 부품 재제조시설 등을 짓고 있다. 내년 12월 신사옥을 완공해 입주하는 게 목표다.

ASML 관계자는 "ASML 매출의 약 30%를 차지하는 만큼 한국 고객사를 위한 투자"라며 "외국에 재제조시설을 짓는 건 이번이 처음"이라고 했다. 지난해 말 방한한 페터르 베닝크 ASML 최고경영자(CEO)는 "R&D 데이터 등이 쌓이면 제조 기반으로도 확장할 수 있다"고 말하기도 했다.

일본 TEL도 이르면 올해 완공을 목표로 경기도 화성시에 R&D센터를 증설하고 있다. 앞서 TEL은 1000억원을 투자해 R&D시설을 증설하고 장비를 개발·실험할 클린룸(먼지·세균 없는 생산시설)을 확대한다고 밝혔다.

미국 램리서치는 지난해 4월 경기도 용인에 R&D센터를 열었다. 앞서 2021년에는 화성에 제3공장을 설립했다. 미국 KLA도 한국 내 R&D와 사무조직 규모를 지속적으로 늘리고 있는 것으로 알려졌다.

반도체 열처리 장비 업체인 고쿠사이일렉트릭도 올해 평택 공장을 확장할 것으로 알려졌다. 니혼게이자이신문에 따르면 고쿠사이일렉트릭은 수십억 엔을 투자해 클린룸을 증설할 계획이다. 히타치하이테크도 올해까지 한국을 비롯해 미국, 대만 등 3국에 수백억 엔을 투자해 R&D시설을 설립한다.

전 세계 반도체 장비 기업들이 한국에 몰려드는 이유는 주요 고객사이자 메모리 반도체 '빅2'인 삼성전자와 SK하이닉스를 꽉 잡기 위해서다. 단순히 장비를 납품하는 데 그치지 않고 납품 이후 장비 유지·보수 등까지 제공해 다른 업체들과의 경쟁에서 살아남겠다는 의도다.

한국에 부품 재제조센터를 짓는 ASML이 대표적인 예다. 기존에 삼성전자가 고장 난 ASML의 장비를 고치려면 네덜란드로 장비를 보내야 했는데 이제 한국에서 장비를 수리할 수 있다.

미국의 대중국 제재로 중국 시장을 포기하고 대안을 찾아야 하는 점도 이들 기업의 '한국행'을 가속화하고 있다. AMAT와 램리서치 등 미국 기업뿐 아니라 일본 니콘과 TEL, 네덜란드 ASML 등은 최근 모두 중국으로 첨단 반도체 장비를 수출하지 않기로 합의했다. 이들 기업은 이미 중국에 있던 직원들을 철수시키는 등 '탈중국'에 속도를 내고 있다.

이베스트투자증권에 따르면 지난해 기준 전 세계 반도체 장비 상위 5위권 업체의 중국향 매출 비중은 약 25%로 추정된다. 매출 상당 부분을 한국 등 다른 시장에서 메워야 한다. 지리적으로 중국과 가까운 데다 미국과 우호적인 관계를 맺고 있는 점도 장비 업체들이 한국을 선호하는 이유로 꼽힌다.

앞으로도 세계 반도체 장비 기업의 한국 시장 투자는 이어질 전망이다. 황민성 삼성증권 연구원은 "미국의 대중 반도체 규제가 시작되면서 글로벌 장비 업체들의 국내 투자가 활성화되고 있다"며 "중국이라는 큰 시장을 잃은 만큼 대형 고객사인 삼성전자와 SK하이닉스에 대한 의존도도 높아질 것"이라고 내다봤다.

반도체가 국가 핵심 전략 사업으로 떠오르면서 세계 반도체 장비 시장도 성장하는 추세다. 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 지난해 반도체 장비 매출액이 역대 최고치였던 2021년(1025억달러)보다 5.9% 높은 1095억달러(약 138조원)에 달할 것으로 추정한다. 지난해 1~8월 국내 누적 반도체 장비 수입액만 161억달러(약 20조원)로 집계됐다. 올해는 세계 경기 침체 분위기에 반도체 수요가 줄면서 반도체 장비 시장 성장이 주춤하지만 내년부터 시장이 다시 반등할 것이라는 게 업계 예상이다.

[이새하 기자]